સેમિકન્ડક્ટર (FAB) સ્વચ્છ રૂમમાં સાપેક્ષ ભેજનું લક્ષ્ય મૂલ્ય આશરે 30 થી 50% છે, જે ±1% ની ભૂલનો સાંકડો માર્જિન આપે છે, જેમ કે લિથોગ્રાફી ઝોનમાં - અથવા દૂરના અલ્ટ્રાવાયોલેટ પ્રોસેસિંગ (DUV) ઝોનમાં તેનાથી પણ ઓછો - જ્યારે અન્યત્ર તેને ±5% સુધી ઘટાડી શકાય છે.
કારણ કે સાપેક્ષ ભેજમાં ઘણા પરિબળો હોય છે જે સ્વચ્છ રૂમના એકંદર પ્રદર્શનને ઘટાડી શકે છે, જેમાં નીચેનાનો સમાવેશ થાય છે:
1. બેક્ટેરિયાની વૃદ્ધિ;
2. સ્ટાફ માટે રૂમ તાપમાન આરામ શ્રેણી;
3. ઇલેક્ટ્રોસ્ટેટિક ચાર્જ દેખાય છે;
4. ધાતુનો કાટ;
5. પાણીની વરાળનું ઘનીકરણ;
6. લિથોગ્રાફીનું અધોગતિ;
7. પાણી શોષણ.
બેક્ટેરિયા અને અન્ય જૈવિક દૂષકો (મોલ્ડ, વાયરસ, ફૂગ, જીવાત) 60% થી વધુ સાપેક્ષ ભેજવાળા વાતાવરણમાં ખીલી શકે છે. કેટલાક બેક્ટેરિયા સમુદાયો 30% થી વધુ સાપેક્ષ ભેજ પર વિકાસ કરી શકે છે. કંપની માને છે કે ભેજ 40% થી 60% ની રેન્જમાં નિયંત્રિત થવો જોઈએ, જે બેક્ટેરિયા અને શ્વસન ચેપની અસરને ઘટાડી શકે છે.
૪૦% થી ૬૦% ની સાપેક્ષ ભેજ પણ માનવ આરામ માટે મધ્યમ શ્રેણી છે. વધુ પડતી ભેજ લોકોને ગૂંગળામણ અનુભવી શકે છે, જ્યારે ૩૦% થી ઓછી ભેજ લોકોને શુષ્કતા, ફાટેલી ત્વચા, શ્વાસ લેવામાં તકલીફ અને ભાવનાત્મક દુ:ખ અનુભવી શકે છે.
ઉચ્ચ ભેજ ખરેખર સ્વચ્છ ખંડની સપાટી પર ઇલેક્ટ્રોસ્ટેટિક ચાર્જના સંચયને ઘટાડે છે - એક ઇચ્છિત પરિણામ. ઓછી ભેજ ચાર્જ સંચય માટે આદર્શ છે અને ઇલેક્ટ્રોસ્ટેટિક ડિસ્ચાર્જનો સંભવિત નુકસાનકારક સ્ત્રોત છે. જ્યારે સંબંધિત ભેજ 50% થી વધુ હોય છે, ત્યારે ઇલેક્ટ્રોસ્ટેટિક ચાર્જ ઝડપથી વિસર્જન કરવાનું શરૂ કરે છે, પરંતુ જ્યારે સંબંધિત ભેજ 30% કરતા ઓછો હોય છે, ત્યારે તે ઇન્સ્યુલેટર અથવા જમીન વગરની સપાટી પર લાંબા સમય સુધી ટકી શકે છે.
૩૫% અને ૪૦% વચ્ચેની સાપેક્ષ ભેજનો ઉપયોગ સંતોષકારક સમાધાન તરીકે થઈ શકે છે, અને સેમિકન્ડક્ટર સ્વચ્છ રૂમ સામાન્ય રીતે ઇલેક્ટ્રોસ્ટેટિક ચાર્જના સંચયને મર્યાદિત કરવા માટે વધારાના નિયંત્રણોનો ઉપયોગ કરે છે.
સાપેક્ષ ભેજ વધવા સાથે કાટ પ્રક્રિયાઓ સહિત ઘણી રાસાયણિક પ્રતિક્રિયાઓની ગતિ વધશે. સ્વચ્છ ઓરડાની આસપાસ હવાના સંપર્કમાં આવતી બધી સપાટીઓ ઝડપી હોય છે.
પોસ્ટ સમય: માર્ચ-૧૫-૨૦૨૪
ઘર
ઉત્પાદનો
અમારો સંપર્ક કરો
સમાચાર